在介紹臭氧脫硝的原理前，首先要介紹一下臭氧。臭氧（O3）是氧的态存在形式，無色，有臭味，不穩定，具有的強氧化性,可以去除氮氧化物、二氧化硫、氯氟物等，同時(shí)可以、去污、漂白、除臭等，臭氧的分解化學(xué)物質的過(guò)程中還(hái)原成(chéng)(O2)或生成(chéng)水(H2O)，不産生二次污染。在自然界中，主要由雷電所産生，它是"天賜的淨化劑"。
由于臭氧的這(zhè)種(zhǒng)淨化特性，采用人工的臭氧發(fā)生器使得臭氧在水處理行業廣泛的應用。臭氧在水中對(duì)、病毒等微生物殺滅率高、，對(duì)化合物等污染物質去除效果好(hǎo)而又不産生二次污染，因此飲用水是臭氧應用的主要部門，自來水行業是臭氧的市場。
除了在水處理方面(miàn)的應用，臭氧還(hái)能(néng)治理氮氧化物污染，而且是無催化劑，無還(hái)原劑，零排放的循環清潔工藝。臭氧脫除氮氧化物已經(jīng)在FCC（石油化工的催化裂化）受到了廣泛的應用，是具有零吸收劑，零催化劑，的清潔工藝。
臭氧的氧化，從下表可知，臭氧的氧化還(hái)原電位僅次于氟，比過(guò)氧化氫、高錳酸鉀等都(dōu)高。此外，臭氧的反應産物是氧氣，所以它是一種(zhǒng)清潔的強氧化劑。
臭氧脫硝系統采用臭氧作爲脫硝的反應物，把臭氧通過(guò)臭氧格栅均勻的注入煙氣中，把不溶性的氮氧化物（NO）轉變成(chéng)爲水溶性氮氧化合物（NO2或N2O3，或N2O5）。臭氧可通過(guò)臭氧發(fā)生器在現場按煙氣中的氮氧化物濃度來定量生産。
臭氧脫除氮氧化物是一個低溫系統，不需要像SCR和SNCR系統那樣需要較高的溫度窗口。臭氧發(fā)生器可以是對(duì)生産過(guò)程中煙氣中的NOx量做出及時(shí)的響應。無論煙氣流量或者氮氧化物含量的波動，臭氧發(fā)生系統都(dōu)可以在線及時(shí)響應，在節省能(néng)量的同時(shí)控制淨煙氣中氮氧化物的排放量。
臭氧脫硝系統對(duì)酸性氣體或微粒沒(méi)有不良的敏感性，一些微粒甚至可能(néng)提高反應，這(zhè)些微粒會(huì)催化氧化反應。通過(guò)一系列的反應不溶性NO轉化爲了NO2并會(huì)形成(chéng)可溶性N2O5。N2O5是高度可溶性，并與煙氣中的水分發(fā)生反應，形成(chéng)硝酸。
